2017年12月6日訊，12月2日訊， 據張家港市人民政府近日發布公告稱，液化空氣電子材料（張家港）有限公司四期擴建——360噸/年電子材料純化充裝及混配項目環境影響評價第一次公示。
一、建設項目名稱
液化空氣電子材料（張家港）有限公司四期擴建——360噸/年電子材料純化充裝及混配項目
二、項目概況
液化空氣電子材料(張家港)有限公司由液化空氣(中國)投資有限公司于2007年投資成立，位于江蘇揚子江國際化學工業園北京路36號，占地面積為39569.7m2，主要從事電子用高科技化學品的生產和加工。該公司現有項目為一期項目（年產340噸電子用特種氣體新建項目，其中充裝硅烷80t/a、精制氯氣100t/a、精制笑氣160t/a)、二期項目（電子特種氣體擴建項目，年生產笑氣1200噸，年分裝硅烷400噸，年混配磷化氫/氫混配氣37600標立方米、乙硼烷/氫混配氣18480標立方米、三甲基硼/氫混配氣3360標立方米、鍺烷/氫混配氣3600標立方米）和三期工程（年產60000標準立方米氖氣提純及混配氣充裝項目，年提純氖氣60000Nm3，年混配氦/氮混配氣17640Nm3、氫/氖混配氣13500Nm3、氫/氮混配氣24192Nm3、氫/氬混配氣1128Nm3、氧/氦混配氣9240Nm3、氮/氦混配氣1512Nm3、氫/氦混配氣2520Nm3、氧/氬混配氣2700Nm3）。廠內一期項目中的充裝硅烷80t/a于2009年7月通過了環保竣工驗收，目前已正式投入運營；二期項目于2013年1月通過環評審批，二期工程環境影響補充說明于2014年12月通過環評審批，目前二期工程中的分裝硅烷400t/a、混配氣充裝及600t/a笑氣生產項目已通過環保竣工驗收，目前已正式投入運營，剩余600t/a笑氣產能尚未投產；三期工程正在辦理環保竣工驗收。一期項目中的精制氯氣和精制笑氣已于申報二期項目時由項目方已承諾取消生產。目前廠內各設備設施運行正常。
為了適應市場的需求，液化空氣電子材料（張家港）有限公司擬投資6817萬元建設四期擴建——360噸/年電子材料純化充裝及混配項目，項目混配磷烷/氫氣混配氣0～10％PH3/H220240標準立方米/年、乙硼烷/氬氣混配氣0～20％B2H6/Ar 1320標準立方米/年、乙硼烷/氮氣混配氣0～20％B2H6/N22220標準立方米/年、磷烷/硅烷混配氣0～10％PH3/SiH40.72噸/年、氙氣/氖氣混配氣0～20％Xe/Ne 5040標準立方米/年，純化與分裝一氟甲烷5噸/年、二氟甲烷5噸/年、三氟甲烷50噸/年、四氟化碳50噸/年、六氟代一三丁二烯50噸/年、八氟環丁烷 50噸/年、六氟化硫50噸/年、氦氣 8400標準立方米/年、氮氣8400標準立方米/年，分裝氙氣120標準立方米/年、二氯氫硅60噸/年、四氯化硅10噸/年。